0010-23716 | 高溫測(cè)量設(shè)備 | 現(xiàn)貨庫(kù)存

型號(hào):0010-23716
輸入電壓:115 V AC 或 230 V AC。
輸出范圍:可調(diào)范圍,具體數(shù)值未明確提及。
響應(yīng)速度:快速響應(yīng),適用于需要實(shí)時(shí)溫度監(jiān)控的工藝環(huán)節(jié)。
耐高溫能力:能夠在高溫環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作。
兼容性:與 AMAT 其他品牌型號(hào)設(shè)備兼容。

 

分類(lèi): ,

描述

產(chǎn)品介紹:0010-23716 | 高溫測(cè)量設(shè)備 | 現(xiàn)貨庫(kù)存

1. 產(chǎn)品概述

Applied Materials 0010-23716?是應(yīng)用材料公司(Applied Materials)半導(dǎo)體制造設(shè)備中的關(guān)鍵備件或子系統(tǒng)模塊,通常用于晶圓加工設(shè)備(如刻蝕、沉積或檢測(cè)設(shè)備)。該型號(hào)可能對(duì)應(yīng)以下某一類(lèi)組件:

  • 電源模塊:為等離子體生成或射頻(RF)系統(tǒng)供電。

  • 氣體輸送單元:控制工藝氣體流量(如用于CVD/PVD)。

  • 傳感器/控制器:監(jiān)測(cè)溫度、壓力或真空度。

  • 運(yùn)動(dòng)控制部件:晶圓傳輸機(jī)械臂的驅(qū)動(dòng)模塊。


2. 核心功能(需根據(jù)實(shí)際應(yīng)用確認(rèn))

  1. 工藝控制

    • 精確調(diào)節(jié)工藝參數(shù)(如功率、氣體流量),影響薄膜沉積或刻蝕均勻性。

  2. 設(shè)備通信

    • 通過(guò)SECS/GEM協(xié)議與設(shè)備主控系統(tǒng)交互,上報(bào)狀態(tài)或接收指令。

  3. 安全保護(hù)

    • 過(guò)壓/過(guò)流保護(hù),防止工藝腔體損壞。


3. 典型應(yīng)用設(shè)備

可能用于以下Applied Materials設(shè)備系列:

  • Endura? 平臺(tái):物理氣相沉積(PVD)系統(tǒng)。

  • Centura? 平臺(tái):刻蝕或化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備。

  • Producer? 平臺(tái):熱處理或薄膜沉積設(shè)備。


4. 技術(shù)參數(shù)(示例)

參數(shù) 可能規(guī)格
輸入電壓 208VAC/480VAC(若為電源模塊)
輸出控制 0-1000W RF功率(若為射頻發(fā)生器)
通信接口 RS-232/485或以太網(wǎng)(SECS-II)
工作環(huán)境 潔凈室等級(jí)(Class 1-100)

5. 安裝與維護(hù)

  • 更換步驟

    1. 斷開(kāi)設(shè)備電源與氣體供應(yīng)。

    2. 拆卸舊模塊(注意靜電防護(hù)ESD)。

    3. 校準(zhǔn)新模塊(需設(shè)備廠商軟件工具)。

  • 關(guān)鍵提示

    • 必須使用原廠備件,避免工藝偏移(如晶圓良率下降)。

    • 記錄更換前后的設(shè)備日志(用于故障追蹤)。


6. 相關(guān)備件

  • 0010-xxxxx系列:同設(shè)備平臺(tái)的其他模塊(如0010-23715)。

  • AMAT認(rèn)證替代品:第三方備件需通過(guò)Applied Materials認(rèn)證。

公司介紹:
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Company Introduction:
Chengdu Sunshine Xihe Co., Ltd. specializes in one-stop procurement consulting for imported industrial spare parts, offering original equipment and professional discontinued parts services. We are committed to providing efficient and reliable automation solutions for our customers. Customer support fast responseThe network of partners spans all continentsGlobal partner networkAlways achieve more delivery, be it parts, service or speed



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