AMAT 0090-07135 | 半導(dǎo)體制造設(shè)備模塊 | 蝕刻腔組件系列
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型號(hào)：0090-07135

抽速率：1200 CFM（立方英尺每分鐘）。
極限真空度：10^-9 Torr（托）。
噪音水平：小于65 dB(A)（分貝）。
振動(dòng)：小于0.1 g（重力加速度）。
壽命：超過(guò)40,000小時(shí)。
處理器：英特爾酷睿雙核2.1 GHz。
內(nèi)存：2GB DDR4 ECC內(nèi)存。
外形尺寸：符合ATCA平臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)。

 

分類：

描述

AMAT 0090-07135 | 半導(dǎo)體制造設(shè)備模塊 | 蝕刻腔組件系列

1. 產(chǎn)品概述

  • 型號(hào)：0090-07135

  • 制造商：Applied Materials（AMAT），全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商。

  • 模塊類型：

    • 可能屬于?設(shè)備子系統(tǒng)模塊（如氣體輸送系統(tǒng)、射頻電源模塊、真空腔體組件等），具體功能需進(jìn)一步確認(rèn)。

    • 常見應(yīng)用：晶圓加工設(shè)備（如CVD、PVD、刻蝕機(jī)或離子注入機(jī)）。

2. 核心功能推測(cè)

（注：AMAT模塊通常定制化強(qiáng)，以下基于類似型號(hào)的通用特性）

2.1 可能的子系統(tǒng)功能

  • 氣體流量控制模塊：

    • 精確調(diào)節(jié)工藝氣體（如SiH?、N?）的流量，支持?MFC（質(zhì)量流量控制器）?集成。

  • 射頻/電源模塊：

    • 為等離子體工藝提供穩(wěn)定功率（如13.56MHz RF發(fā)生器）。

  • 傳感器接口模塊：

    • 采集溫度、壓力、真空度等信號(hào)，反饋至設(shè)備主控系統(tǒng)。

2.2 硬件特性

  • 接口類型：

    • 電氣：高速數(shù)字I/O（如RS-485、CAN總線）、模擬量（±10V/4-20mA）。

    • 機(jī)械：AMAT專用接口（如真空法蘭、氣體管路快拆接頭）。

  • 環(huán)境耐受性：

    • 超潔凈設(shè)計(jì)（防顆粒污染），耐腐蝕材料（如不銹鋼、特氟龍）。

2.3 通信與控制

  • 協(xié)議支持：

    • 兼容 SECS/GEM（半導(dǎo)體設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)）或?AMAT專用協(xié)議。

  • 實(shí)時(shí)性要求：

    • 微秒級(jí)響應(yīng)（如等離子體功率調(diào)節(jié)）。

3. 軟件與集成

  • 設(shè)備控制層：

    • 集成到AMAT設(shè)備主控軟件（如?Applied E3??或?Centura? 平臺(tái)）。

  • 診斷功能：

    • 通過(guò)?FDC（故障檢測(cè)與分類）?實(shí)時(shí)監(jiān)控模塊健康狀態(tài)。

4. 典型應(yīng)用場(chǎng)景

  • 薄膜沉積（CVD/PVD）：

    • 控制反應(yīng)氣體流量和射頻功率，形成納米級(jí)薄膜。

  • 刻蝕工藝：

    • 調(diào)節(jié)離子能量和流量，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)刻蝕。

 

我們的主營(yíng)產(chǎn)品：

★ABB(AC800M/AC800F/AC800PEC/AC900F/勵(lì)磁控制）
★GE VMIVME/ VMIC系列CPU主板
繼電保護(hù)裝置 SR469/SR369/SR489/SR750
IS200/IS215/IS220/ IS420/ DS200/DS215
/IC693/IC694/IC695/IC697/IC698
★英維思(3008, 3625, 3508E. 3721, 3700A 4351B安全系統(tǒng)模塊)
★本特利(3500/42M,3500/ 22M, 3500/95.3500/05)
★伍德沃德 9907系列505調(diào)速器，8840系列控制器，模塊
★?？怂共_(FBM230, FBM232, FCP270, H90/H92)
★艾默生 西屋模塊1C311/1C312，DELTAV模塊EPRO傳感器
★黑馬(F3330, F3236, F6217, F7126, F8621A)
★施耐德莫迪康 140系列CPU, 通訊模塊 ELAU伺服
★普羅索芙特PROSOFT MVI46/56/69, AB旗下，通訊模塊

公司介紹：
成都陽(yáng)光不斷創(chuàng)新致力于提升停產(chǎn)的自動(dòng)化零件供應(yīng)水平，無(wú)論客戶身處何地，無(wú)論所需配件多么稀有，我們總能將客戶與所需產(chǎn)品緊密連接 ，成都陽(yáng)光零部件覆蓋廣泛。
急切需要自動(dòng)化或控制零件？ 全新、Used和已停產(chǎn)的自動(dòng)化機(jī)械零件的全球供應(yīng)商。
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全球合作伙伴網(wǎng)絡(luò)




Company Introduction:
Chengdu Sunshine Xihe Co., Ltd. specializes in one-stop procurement consulting for imported industrial spare parts, offering original equipment and professional discontinued parts services. We are committed to providing efficient and reliable automation solutions for our customers. Customer support fast responseThe network of partners spans all continentsGlobal partner networkAlways achieve more delivery, be it parts, service or speed



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