AMAT 0090-76133 | 半導(dǎo)體設(shè)備 | Endura 系列
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AMAT 0090-76133 | 半導(dǎo)體設(shè)備 | Endura 系列

型號(hào)：0090-76133

精度要求：
氣體流量控制：±1%設(shè)定值 (如 0-500sccm)
溫度控制：±0.5°C（200-500°C范圍）
響應(yīng)時(shí)間：
射頻功率調(diào)節(jié)：<10ms
真空壓力穩(wěn)定：<30s（從大氣壓到10?? Torr）

分類：

描述

AMAT 0090-76133 | 半導(dǎo)體設(shè)備 | Endura 系列

1. 模塊基礎(chǔ)信息

  • 型號(hào)標(biāo)識(shí)：0090-76133

  • 制造商：Applied Materials (AMAT)

  • 典型設(shè)備關(guān)聯(lián)：

    • 可能用于?Endura?、Centura? 或 Producer? 平臺(tái)的子系統(tǒng)（需進(jìn)一步驗(yàn)證）

    • 常見(jiàn)于?物理氣相沉積 (PVD)、化學(xué)氣相沉積 (CVD) 或刻蝕設(shè)備

2. 功能定位推測(cè)

2.1 模塊類型

功能分類 典型特征 關(guān)聯(lián)工藝
氣體輸送系統(tǒng) 集成質(zhì)量流量控制器(MFC)、閥門組 CVD/ALD 前驅(qū)體輸送
射頻電源模塊 高頻功率輸出（13.56MHz/2MHz） 等離子體激發(fā)（刻蝕/沉積）
真空控制單元 包含壓力傳感器、渦輪分子泵接口 腔室壓力調(diào)節(jié)
溫度控制模塊 加熱器/冷卻器驅(qū)動(dòng)，PID調(diào)節(jié) 晶圓溫度穩(wěn)定

2.2 關(guān)鍵性能參數(shù)

  • 精度要求：

    • 氣體流量控制：±1%設(shè)定值 (如 0-500sccm)

    • 溫度控制：±0.5°C（200-500°C范圍）

  • 響應(yīng)時(shí)間：

    • 射頻功率調(diào)節(jié)：<10ms

    • 真空壓力穩(wěn)定：<30s（從大氣壓到10?? Torr）

3. 硬件接口與通信

3.1 物理接口

  • 電氣連接：

    • 高密度D-Sub或定制航空插頭

    • 信號(hào)類型：

      • 模擬量：4-20mA（傳感器反饋）

      • 數(shù)字量：RS-485/CAN總線（控制指令）

  • 機(jī)械接口：

    • 真空法蘭（CF或ISO標(biāo)準(zhǔn)）

    • 氣體管路VCR?接頭（Swagelok兼容）

3.2 通信協(xié)議

  • 設(shè)備級(jí)：

    • SECS/GEM（SEMI E5/E30）

    • AMAT專用協(xié)議（如E3?架構(gòu)）

  • 實(shí)時(shí)控制：

    • 可能采用?EtherCAT?或?PROFINET IRT

4. 軟件集成

  • 控制層級(jí)：

    E3?指令

    FDC數(shù)據(jù)

    AMAT主機(jī)軟件

    0090-76133

    硬件執(zhí)行

    傳感器反饋

  • 診斷工具：

    • Applied Materials?ServiceWorks??套件

    • 實(shí)時(shí)監(jiān)控參數(shù)：

      • 電源波動(dòng)、氣體消耗率、組件壽命計(jì)數(shù)

 

我們的主營(yíng)產(chǎn)品：

★ABB(AC800M/AC800F/AC800PEC/AC900F/勵(lì)磁控制）
★GE VMIVME/ VMIC系列CPU主板
繼電保護(hù)裝置 SR469/SR369/SR489/SR750
IS200/IS215/IS220/ IS420/ DS200/DS215
/IC693/IC694/IC695/IC697/IC698
★英維思(3008, 3625, 3508E. 3721, 3700A 4351B安全系統(tǒng)模塊)
★本特利(3500/42M,3500/ 22M, 3500/95.3500/05)
★伍德沃德 9907系列505調(diào)速器，8840系列控制器，模塊
★福克斯波羅(FBM230, FBM232, FCP270, H90/H92)
★艾默生 西屋模塊1C311/1C312，DELTAV模塊EPRO傳感器
★黑馬(F3330, F3236, F6217, F7126, F8621A)
★施耐德莫迪康 140系列CPU, 通訊模塊 ELAU伺服
★普羅索芙特PROSOFT MVI46/56/69, AB旗下，通訊模塊

公司介紹：
成都陽(yáng)光不斷創(chuàng)新致力于提升停產(chǎn)的自動(dòng)化零件供應(yīng)水平，無(wú)論客戶身處何地，無(wú)論所需配件多么稀有，我們總能將客戶與所需產(chǎn)品緊密連接 ，成都陽(yáng)光零部件覆蓋廣泛。
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合作伙伴網(wǎng)絡(luò)橫跨各個(gè)大洲
全球合作伙伴網(wǎng)絡(luò)




Company Introduction:
Chengdu Sunshine Xihe Co., Ltd. specializes in one-stop procurement consulting for imported industrial spare parts, offering original equipment and professional discontinued parts services. We are committed to providing efficient and reliable automation solutions for our customers. Customer support fast responseThe network of partners spans all continentsGlobal partner networkAlways achieve more delivery, be it parts, service or speed



始終實(shí)現(xiàn)更多的交付，無(wú)論是零件、服務(wù)還是速度

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